Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một loại kính hiển vi có độ phân giải rất cao cho phép người dùng nhìn thấy những thứ nhỏ với chi tiết rất lớn. Đây là một cái nhìn nhanh về cách chụp hình mẫu bằng SEM. Hãy nhớ rằng SEM là một thiết bị rất tinh tế và cần được sử dụng cẩn thận. Tuy nhiên, tuân thủ chặt chẽ các bước này gần như đảm bảo rằng bạn sẽ không làm hỏng kính hiển vi của mình. Còn nhiều tính năng khác không được thảo luận trong bài viết này, nhưng quy trình này mô tả cách để có được một bức ảnh cơ bản.
Bài viết này cung cấp hướng dẫn cụ thể cho một kính hiển vi JEOL JSM-6010LA. Mọi kính hiển vi JEOL sẽ có các điều khiển vô cùng tương tự với kính hiển vi được mô tả trong các hướng dẫn này. Các kính hiển vi Hitachi cũng sẽ rất tương tự, nhưng các thương hiệu khác như Zeiss có thể có các nút điều khiển ở các vị trí khác nhau.
Các Bước
Lấy mẫu đã chuẩn bị sẵn. Chuẩn bị một mẫu cho việc điện tử kính hiển vi là một quy trình rất chi tiết, vì vậy cho quy trình này, hãy sử dụng một mẫu đã được chuẩn bị sẵn. Nếu một mẫu đã được chuẩn bị cho SEM, nó sẽ cần phải có kích thước phù hợp và cũng cần phải có một bề mặt dẫn điện. Vì mẫu đã được chuẩn bị trước, bài viết này sẽ giả định rằng nó đáp ứng các tiêu chí này.
Mang SEM đến áp suất khí quyển để mở cửa mẫu. Hiểu rằng SEM sẽ luôn được bật và phòng mẫu sẽ luôn ở dưới áp suất hơi. Điều này có nghĩa là phòng sẽ hoàn toàn trống rỗng không khí nào nên electron sẽ có đường đi rõ ràng đến mẫu. Nhấn và giữ nút VENT cho đến khi nó nhấp nháy và bạn sẽ nghe thấy một tiếng kêu. Nút VENT sẽ tiếp tục nhấp nháy cho đến khi môi trường trong phòng được nâng lên áp suất khí quyển. Khi nút VENT màu cam ổn định, điều này có nghĩa là phòng ở áp suất khí quyển và bạn có thể mở cửa.
Mang găng tay.
Điều này rất quan trọng vì buồng của SEM cần phải được giữ sạch sẽ!
Trong khi giữ cửa đóng chặt, nhấn và giữ nút EVAC cho đến khi nó bắt đầu nhấp nháy để đưa buồng trở lại dưới chân không. Bạn sẽ nghe thấy tiếng kêu, sau đó sau khoảng một phút bạn sẽ nghe thấy máy bơm quay. Các máy bơm này sẽ loại bỏ tất cả các phân tử khí khỏi buồng và đưa áp suất nội bộ xuống khoảng 10^-6 torr. Khi nút EVAC sáng màu xanh lá cây, điều này có nghĩa là buồng ở dưới chân không. Bây giờ hãy chờ thêm 5 phút trước khi tiếp tục bước tiếp theo.
Sau khi hết 5 phút, bạn đã sẵn sàng bật tia electron và bắt đầu chụp ảnh!
Điều chỉnh chiều cao mẫu. Bây giờ mẫu của bạn đã nét, nhưng bạn có thể nhận thấy nó không trông tốt như bạn mong đợi.
Thu phóng trở lại đến độ phóng lớn mong muốn của bạn và nếu bạn muốn di chuyển đến một khu vực khác của mẫu của bạn, bạn có thể sử dụng các nút X và Y. Bạn cũng có thể điều chỉnh độ tương phản và độ sáng theo ý thích của bạn. Khi bạn tìm thấy một khu vực bạn thích, hãy chụp ảnh bằng cách nhấp vào biểu tượng máy ảnh có ghi 'STORE.' Điều này sẽ mở một hộp thoại cho phép bạn lưu tệp ảnh của mình. Bạn có thể đặt tên tệp theo ý muốn và lưu nó trong bất kỳ thư mục nào trên máy tính hoặc trên ổ đĩa flash.
Tắt tia electron bằng cách nhấp vào nút màu xanh lá cây có chữ 'ON' ở góc phải trên cùng. Đảm bảo rằng nó hiển thị 'OFF' trước khi tiếp tục. Xoay các nút X, Y, và Z để mỗi giá trị là 25mm. Bây giờ nhấn và giữ nút VENT cho đến khi nó nhấp nháy để trả phòng mẫu về áp suất khí quyển.
Mở phòng mẫu sau khi nút VENT chuyển sang màu cam rực rỡ. Khi bạn lấy mẫu của mình ra khỏi giá, đặt mẫu trắng trở lại trong giá và trượt nó vào vị trí mẫu. Trượt cửa lại vào vị trí đóng. Cuối cùng, nhấn và giữ nút EVAC cho đến khi nó nhấp nháy. ĐỪNG BAO GIỜ để phòng SEM được thông gió, điều này có thể gây hỏng hóc cho các bộ phận bên trong. Khi nút EVAC chuyển sang màu xanh lá cây ổn định, đó là an toàn để rời khỏi SEM.
Mẹo
Cảnh báo
Đeo găng tay là rất quan trọng khi chạm vào bất cứ thứ gì sẽ đi vào phòng mẫu!
Không bao giờ để phòng SEM được thông gió. Nếu bạn rời khỏi SEM, hãy đảm bảo nút EVAC sáng màu xanh lá cây ổn định.
Nếu mẫu của bạn chưa được chuẩn bị đặc biệt cho một SEM, đừng bỏ nó vào kính hiển vi! Một số mẫu đơn giản không sẽ hiển thị tốt, nhưng một số khác thực sự có thể gây hỏng cho các bộ phận bên trong.
Buzz
