Không thể tiếp cận các trang thiết bị mới nhất để sản xuất chip bằng công nghệ EUV, các nhà sản xuất bán dẫn Trung Quốc đang tập trung vào công nghệ DUV với bước sóng ánh sáng từ 254 đến 193 nm. SMIC, nhà sản xuất bán dẫn hàng đầu Trung Quốc, đã tăng cường nhập khẩu trang thiết bị DUV từ Hà Lan. Công nghệ DUV không bị cấm vận bởi Mỹ, giúp SMIC mua thêm trang thiết bị từ ASML.Công nghệ DUV thường được sử dụng cho các tiến trình sản xuất lớn hơn 30nm nhưng hiện cả TSMC và Samsung đều sử dụng DUV để sản xuất các dòng chip dưới 10nm. Ví dụ, công nghệ 8LPP của Samsung được phát triển dựa trên node tiến trình 10nm, sử dụng kỹ thuật quang khắc đa mẫu hình.
Các doanh nghiệp Trung Quốc chuyển sự chú ý sang công nghệ DUV sau khi Mỹ áp đặt lệnh cấm, ngăn cản khả năng mua trang thiết bị EUV. Với sự thiếu hụt trang thiết bị, các nhà sản xuất bán dẫn như SMIC không thể sản xuất các sản phẩm sử dụng tiến trình dưới 10nm, buộc họ phải tập trung vào các tiến trình 14nm trở lên và nâng cao sức cạnh tranh trong lĩnh vực này. Cạnh tranh giữa các doanh nghiệp Trung Quốc sẽ trở nên gay gắt, đặc biệt là giữa SMIC và các đối thủ như MediaTek, Vanguard International Semiconductor (VIS) và PowerChip.